Novosense NSP1832系列MEMS压力传感器是基于单晶硅高灵敏度压阻效应原理,采用先进MEMS技术制造的高性能、高可靠性MEMS差压传感器芯片。SP1832系列MEMS差压传感器符合AEC-Q103的要求,在整个使用寿命内保证精度和稳定性优于1%FS,典型压力范围为0~±5kPa、0~±35kPa和0~±100kPa,广泛应用于汽车电子、工业控制等领域。耐腐蚀的Pt-metalbond焊盘使NSP1832系列压力传感器特别适用于DPF、GPF、EVAP等恶劣环境应用。
经验证,NSP1832系列MEMS差压传感器的晶圆制造平台符合国际汽车标准IATF16949:2016。每个晶圆的背面和正面均通过100%AOI进行检查,并为每个晶圆提供电子AOI晶圆图。
主要特征
⚫ 压力范围:0~±5kPa、±35kPa、±100kPa
⚫ 工作温度:-40~150°C
⚫ 模具尺寸:1.65mmx1.65mmx0.4mm
⚫ 精度和稳定性优于1%FS
⚫ 耐腐蚀铂金属焊盘结构
⚫ 双焊盘设计增强了可靠性
⚫ IATF16949认证制造平台
⚫ AEC-Q103汽车标准合格
⚫ 符合ROHS和REACH标准
应用
⚫ 汽油颗粒过滤器
⚫ 柴油颗粒过滤器
⚫ 蒸发排放系统
⚫ 工业控制
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